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线.抽取速率:指单位时间内强制抽取的气体流量,单位为升/秒或立方米/小时。
2. 极限压力:指真空泵可以永久性地将压力降至的最低值,一般运用帕斯卡(Pa)或毫巴(mbar)来表明。
线.依据抽取速率:挑选的真空泵必定要能满意作业条件下所需的最大抽取速率。
2Βιβλιοθήκη Baidu依据极限压力:挑选的真空泵必定要能到达所需的极限压力。
4.依据运用:要依据运用的需求挑选真空泵类型,例如,化学实验室可以正常的运用化学蒸汽泵或干式泵,而半导体制造业则需要用超高真空泵等。
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